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磁控溅射镀膜机的技术工艺

磁控溅射镀膜机是一种涂层工艺,广泛应用于各行各业。

磁控溅射镀膜机是在真空条件下使用的设备。一个完整的磁控溅射镀膜机由多个系统组成,每个系统可以完成不同的功能,从而实现的高质量涂层,磁控溅射镀膜机包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵和膜控制系统等。

磁控溅射镀膜机的主体是真空腔,真空腔的尺寸由加工产品决定,磁控溅射镀膜机的尺寸可以定制,腔一般采用不锈钢材料,要求坚固耐用,不生锈。磁控溅射镀膜机有许多连接阀,用于连接各种辅助泵。

磁控溅射镀膜机成膜控制系统可以使用不同的方法,如固定电镀时间、目视检查、极端监测和晶体振动监测。磁控溅射镀膜机的涂层方法也分为多种工艺,常用的是离子蒸发涂层和磁控溅射涂层。磁控溅射镀膜机具有较强的薄膜附着力和高纯度,可以溅射多种不同成分的材料。离子蒸发涂层可以提高薄膜层的密封性、粘合力和均匀性。

DISC-SP-3200型磁控溅射镀膜机